Skema dytësore e ajrit të kthimit për sistemin e ajrit të kondicionuar

Punëtoria mikroelektronike me sipërfaqe relativisht të vogël të dhomës së pastër dhe rreze të kufizuar të kanalit të ajrit të kthimit përdoret për të miratuar skemën dytësore të ajrit të kthimit të sistemit të ajrit të kondicionuar. Kjo skemë përdoret gjithashtu zakonisht nëdhoma të pastranë industri të tjera si farmaceutikë dhe kujdes mjekësor. Për shkak se vëllimi i ventilimit për të përmbushur kërkesat e lagështisë së temperaturës së pastër të dhomës është përgjithësisht shumë më i vogël se vëllimi i ventilimit që kërkohet për të arritur nivelin e pastërtisë, prandaj, diferenca e temperaturës midis ajrit të furnizimit dhe ajrit të kthimit është i vogël. Nëse përdoret skema kryesore e ajrit të kthimit, diferenca e temperaturës ndërmjet pikës së gjendjes së ajrit të furnizimit dhe pikës së vesës së njësisë së ajrit të kondicionuar është e madhe, nevojitet ngrohja dytësore, duke rezultuar në kompensimin e nxehtësisë së ftohtë në procesin e trajtimit të ajrit dhe më shumë konsum të energjisë . Nëse përdoret skema e ajrit të kthimit dytësor, ajri dytësor i kthimit mund të përdoret për të zëvendësuar ngrohjen dytësore të skemës së ajrit të kthimit primar. Megjithëse rregullimi i raportit të ajrit të kthimit primar dhe dytësor është pak më pak i ndjeshëm se rregullimi i nxehtësisë dytësore, skema e ajrit të kthimit dytësor është njohur gjerësisht si një masë e kursimit të energjisë së ajrit të kondicionuar në punishtet e vogla dhe të mesme të pastërta mikro-elektronike. .

Merrni si shembull një punishte të pastër të mikroelektronikës ISO të klasës 6, sipërfaqen e pastër të punishtes prej 1 000 m2, lartësinë e tavanit 3 m. Parametrat e dizajnit të brendshëm janë temperatura tn= (23±1) ℃, lagështia relative φn=50%±5%; Vëllimi i furnizimit me ajër të projektuar është 171,000 m3/h, rreth 57 h-1 kohë shkëmbimi ajri, dhe vëllimi i ajrit të pastër është 25 500 m3/h (nga të cilat vëllimi i ajrit të shkarkimit të procesit është 21 000 m3/h, dhe pjesa tjetër është vëllimi i ajrit të rrjedhjes me presion pozitiv). Ngarkesa e ndjeshme e nxehtësisë në punishten e pastër është 258 kW (258 W/m2), raporti nxehtësi/lagështi e kondicionerit është ε=35 000 kJ/kg dhe diferenca e temperaturës së ajrit të kthimit të dhomës është 4,5 ℃. Në këtë kohë, vëllimi primar i ajrit të kthimit të
Kjo është aktualisht forma më e përdorur e sistemit të pastrimit të ajrit të kondicionuar në dhomën e pastër të industrisë së mikroelektronikës, ky lloj sistemi mund të ndahet kryesisht në tre lloje: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Spirale e thatë) +FFU. Secili ka avantazhet dhe disavantazhet e veta dhe vende të përshtatshme, efekti i kursimit të energjisë varet kryesisht nga performanca e filtrit dhe ventilatorit dhe pajisjeve të tjera.

1) Sistemi AHU+FFU.

Ky lloj regjimi i sistemit përdoret në industrinë e mikroelektronikës si "mënyra e ndarjes së fazës së kondicionimit dhe pastrimit". Mund të ketë dy situata: njëra është që sistemi i ajrit të kondicionuar merret vetëm me ajrin e pastër dhe ajri i pastër i trajtuar përballon të gjithë ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë së dhomës së pastër dhe vepron si një ajër shtesë për të balancuar ajrin e shkarkimit dhe rrjedhjen e presionit pozitiv. i dhomës së pastër, ky sistem quhet edhe sistemi MAU+FFU; Tjetra është se vetëm vëllimi i ajrit të pastër nuk është i mjaftueshëm për të përmbushur nevojat e ngarkesës së ftohtë dhe nxehtësie të dhomës së pastër, ose sepse ajri i pastër përpunohet nga gjendja e jashtme në pikën e vesës, diferenca specifike e entalpisë së makinës së kërkuar është shumë e madhe. , dhe një pjesë e ajrit të brendshëm (ekuivalente me një ajër të kthimit) kthehet në njësinë e trajtimit të ajrit të kondicionuar, përzihet me ajrin e pastër për trajtimin e nxehtësisë dhe lagështisë dhe më pas dërgohet në plenumin e furnizimit me ajër. I përzier me ajrin e mbetur të kthimit të dhomës së pastër (ekuivalente me ajrin dytësor të kthimit), ai hyn në njësinë FFU dhe më pas e dërgon në dhomën e pastër. Nga viti 1992 deri në 1994, autori i dytë i këtij punimi bashkëpunoi me një kompani nga Singapori dhe udhëhoqi më shumë se 10 studentë të diplomuar për të marrë pjesë në projektimin e ndërmarrjes së përbashkët SHBA-Hong Kong SAE Electronics Factory, e cila miratoi llojin e fundit të pastrimit të ajrit të kondicionuar dhe sistemi i ventilimit. Projekti ka një dhomë të pastër ISO të klasit 5 prej afërsisht 6,000 m2 (1,500 m2 prej të cilave është kontraktuar nga Agjencia Japoneze Atmosferike). Dhoma e ajrit të kondicionuar është e rregulluar paralelisht me anën e dhomës së pastër përgjatë murit të jashtëm, dhe vetëm ngjitur me korridorin. Tubat e ajrit të pastër, të shkarkimit dhe të ajrit të kthimit janë të shkurtër dhe të rregulluar mirë.

2) Skema MAU+AHU+FFU.

Kjo zgjidhje gjendet zakonisht në impiantet e mikroelektronikës me kërkesa të shumta për temperaturë dhe lagështi dhe ndryshime të mëdha në ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë, dhe niveli i pastërtisë është gjithashtu i lartë. Në verë, ajri i pastër ftohet dhe lagështohet në një pikë parametri të caktuar. Zakonisht është e përshtatshme që ajri i pastër të trajtohet në pikën e kryqëzimit të linjës izometrike të entalpisë dhe vijës së lagështisë relative 95% të dhomës së pastër me temperaturë dhe lagështi përfaqësuese ose dhomës së pastër me vëllimin më të madh të ajrit të freskët. Vëllimi i ajrit të MAU përcaktohet sipas nevojave të çdo dhome të pastër për të rimbushur ajrin dhe shpërndahet në AHU të çdo dhome të pastër me tuba sipas vëllimit të kërkuar të ajrit të pastër dhe përzihet me pak ajër kthimi të brendshëm për ngrohje. dhe trajtimi i lagështisë. Kjo njësi përballon të gjithë ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë dhe një pjesë të ngarkesës së re të reumatizmit të dhomës së pastër që shërben. Ajri i trajtuar nga çdo AHU dërgohet në plenumin e ajrit të furnizimit në çdo dhomë të pastër dhe pas përzierjes dytësore me ajrin e kthimit të brendshëm, ai dërgohet në dhomë nga njësia FFU.

Avantazhi kryesor i zgjidhjes MAU+AHU+FFU është se përveç sigurimit të pastërtisë dhe presionit pozitiv, siguron edhe temperatura të ndryshme dhe lagështinë relative të nevojshme për prodhimin e çdo procesi të dhomës së pastër. Megjithatë, shpesh për shkak të numrit të AHU të ngritur, zona e dhomës është e madhe, dhoma e pastër ajri i pastër, ajri i kthimit, tubacionet e furnizimit me ajër kryqëzohen, zënë një hapësirë ​​të madhe, faqosja është më e mundimshme, mirëmbajtja dhe menaxhimi është më e vështirë. dhe komplekse, prandaj, nuk ka kërkesa të veçanta për aq sa është e mundur për të shmangur përdorimin.