Skema e ajrit të kthimit sekondar për sistemin e kondicionimit të ajrit

Punëtoria mikroelektronike me një sipërfaqe relativisht të vogël të dhomës së pastër dhe një rreze të kufizuar të kanalit të ajrit të kthimit përdoret për të miratuar skemën e ajrit të kthimit sekondar të sistemit të ajrit të kondicionuar. Kjo skemë përdoret gjithashtu zakonisht nëdhoma të pastranë industri të tjera si farmaceutika dhe kujdesi mjekësor. Meqenëse vëllimi i ventilimit për të përmbushur kërkesat e lagështisë në temperaturën e dhomës së pastër është përgjithësisht shumë më i vogël se vëllimi i ventilimit i kërkuar për të arritur nivelin e pastërtisë, prandaj, ndryshimi i temperaturës midis ajrit të furnizimit dhe ajrit të kthimit është i vogël. Nëse përdoret skema e ajrit primar të kthimit, ndryshimi i temperaturës midis pikës së gjendjes së ajrit të furnizimit dhe pikës së vesës së njësisë së ajrit të kondicionuar është i madh, nevojitet ngrohje sekondare, duke rezultuar në kompensimin e nxehtësisë së ftohtë në procesin e trajtimit të ajrit dhe më shumë konsum energjie. Nëse përdoret skema e ajrit sekondar të kthimit, ajri sekondar i kthimit mund të përdoret për të zëvendësuar ngrohjen sekondare të skemës së ajrit primar të kthimit. Megjithëse rregullimi i raportit të ajrit primar dhe sekondar të kthimit është pak më pak i ndjeshëm sesa rregullimi i nxehtësisë sekondare, skema e ajrit sekondar të kthimit është njohur gjerësisht si një masë për kursimin e energjisë së ajrit të kondicionuar në punishte të vogla dhe të mesme të pastrimit mikroelektronik.

Merrni si shembull një punishte të pastër mikroelektronike të klasës ISO 6, me një sipërfaqe punishteje të pastër prej 1 000 m2, lartësi tavani prej 3 m. Parametrat e dizajnit të brendshëm janë temperatura tn= (23±1) ℃, lagështia relative φn=50%±5%; Vëllimi i furnizimit me ajër të projektuar është 171,000 m3/orë, rreth 57 h-1 kohë shkëmbimi ajri, dhe vëllimi i ajrit të pastër është 25 500 m3/orë (nga të cilat vëllimi i ajrit të nxjerrë nga procesi është 21 000 m3/orë, dhe pjesa tjetër është vëllimi i ajrit të rrjedhjes me presion pozitiv). Ngarkesa e ndjeshme e nxehtësisë në punishten e pastër është 258 kW (258 W/m2), raporti nxehtësi/lagështi i kondicionerit është ε=35 000 kJ/kg, dhe ndryshimi i temperaturës së ajrit të kthimit të dhomës është 4.5 ℃. Në këtë kohë, vëllimi kryesor i ajrit të kthimit prej
Ky është aktualisht forma më e përdorur e sistemit të pastrimit të ajrit të kondicionuar në industrinë e mikroelektronikës, dhoma e pastër. Ky lloj sistemi mund të ndahet kryesisht në tre lloje: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Bobinë e thatë) +FFU. Secili ka avantazhet dhe disavantazhet e veta dhe vendet e përshtatshme. Efekti i kursimit të energjisë varet kryesisht nga performanca e filtrit, ventilatorit dhe pajisjeve të tjera.

1) Sistemi AHU+FFU.

Ky lloj modaliteti sistemi përdoret në industrinë e mikroelektronikës si "mënyra e ndarjes së fazës së kondicionimit të ajrit dhe pastrimit". Mund të ketë dy situata: njëra është se sistemi i kondicionimit të ajrit merret vetëm me ajër të pastër, dhe ajri i pastër i trajtuar mban të gjithë ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë së dhomës së pastër dhe vepron si ajër plotësues për të balancuar ajrin e nxjerrë dhe rrjedhjet e presionit pozitiv të dhomës së pastër, ky sistem quhet edhe sistemi MAU+FFU; tjetra është se vëllimi i ajrit të pastër vetëm nuk është i mjaftueshëm për të përmbushur nevojat e ngarkesës së të ftohtit dhe nxehtësisë së dhomës së pastër, ose sepse ajri i pastër përpunohet nga gjendja e jashtme në ndryshimin specifik të entalpisë së pikës së vesës të makinës së kërkuar është shumë i madh, dhe një pjesë e ajrit të brendshëm (ekuivalent me një ajër kthimi) kthehet në njësinë e trajtimit të ajrit të kondicionuar, përzihet me ajrin e pastër për trajtimin e nxehtësisë dhe lagështisë, dhe më pas dërgohet në plenumin e furnizimit me ajër. I përzier me ajrin e mbetur të kthimit të dhomës së pastër (ekuivalent me ajrin sekondar të kthimit), ai hyn në njësinë FFU dhe më pas e dërgon atë në dhomën e pastër. Nga viti 1992 deri në vitin 1994, autori i dytë i këtij punimi bashkëpunoi me një kompani singaporiane dhe udhëhoqi më shumë se 10 studentë të diplomuar për të marrë pjesë në projektimin e sipërmarrjes së përbashkët SHBA-Hong Kong, SAE Electronics Factory, e cila miratoi llojin e fundit të sistemit të ajrit të kondicionuar dhe ventilimit të pastrimit. Projekti ka një dhomë të pastër ISO Klasa 5 prej afërsisht 6,000 m2 (1,500 m2 nga të cilat u kontraktuan nga Agjencia Atmosferike Japoneze). Dhoma e ajrit të kondicionuar është e vendosur paralelisht me anën e dhomës së pastër përgjatë murit të jashtëm dhe vetëm ngjitur me korridorin. Tubat e ajrit të pastër, ajrit të shkarkimit dhe ajrit të kthimit janë të shkurtër dhe të vendosur pa probleme.

2) Skema MAU+AHU+FFU.

Kjo zgjidhje gjendet zakonisht në impiantet e mikroelektronikës me kërkesa të shumëfishta për temperaturë dhe lagështi dhe ndryshime të mëdha në ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë, dhe niveli i pastërtisë është gjithashtu i lartë. Në verë, ajri i pastër ftohet dhe thahet në një pikë parametri fikse. Zakonisht është e përshtatshme që ajri i pastër të trajtohet deri në pikën e kryqëzimit të vijës së entalpisë izometrike dhe vijës së lagështisë relative 95% të dhomës së pastër me temperaturë dhe lagështi përfaqësuese ose dhomës së pastër me vëllimin më të madh të ajrit të pastër. Vëllimi i ajrit të MAU përcaktohet sipas nevojave të secilës dhomë të pastër për të rimbushur ajrin dhe shpërndahet në AHU të secilës dhomë të pastër me tuba sipas vëllimit të kërkuar të ajrit të pastër dhe përzihet me pak ajër kthimi të brendshëm për trajtimin e nxehtësisë dhe lagështisë. Kjo njësi mban të gjithë ngarkesën e nxehtësisë dhe lagështisë dhe një pjesë të ngarkesës së re reumatizmale të dhomës së pastër që i shërben. Ajri i trajtuar nga secila AHU dërgohet në plenumin e ajrit të furnizimit në secilën dhomë të pastër dhe, pas përzierjes sekondare me ajrin e kthimit të brendshëm, dërgohet në dhomë nga njësia FFU.

Avantazhi kryesor i zgjidhjes MAU+AHU+FFU është se përveç sigurimit të pastërtisë dhe presionit pozitiv, ajo siguron gjithashtu temperaturat dhe lagështinë relative të ndryshme të nevojshme për prodhimin e secilit proces të dhomës së pastër. Megjithatë, shpesh për shkak të numrit të AHU-ve të instaluara, sipërfaqja e dhomës është e madhe, ajri i pastër i dhomës së pastër, ajri i kthimit, tubacionet e furnizimit me ajër kryqëzohen, zënë një hapësirë ​​të madhe, planimetria është më problematike, mirëmbajtja dhe menaxhimi janë më të vështira dhe komplekse, prandaj, nuk ka kërkesa të veçanta për të shmangur përdorimin sa më shumë që të jetë e mundur.