Vlera e synuar e lagështisë relative në një dhomë të pastër me gjysmëpërçues (FAB)

Vlera e synuar e lagështisë relative në një dhomë të pastër gjysmëpërçuese (FAB) është afërsisht 30 deri në 50%, duke lejuar një diferencë të ngushtë gabimi prej ±1%, si në zonën e litografisë - ose edhe më pak në zonën e përpunimit ultravjollcë të largët (DUV) - ndërsa në vende të tjera mund të ulet në ±5%.
Meqenëse lagështia relative ka një sërë faktorësh që mund të zvogëlojnë performancën e përgjithshme të dhomave të pastra, duke përfshirë:
1. Rritja bakteriale;
2. Diapazoni i rehatisë së temperaturës së dhomës për stafin;
3. Shfaqet ngarkesa elektrostatike;
4. Korozioni i metaleve;
5. Kondensimi i avujve të ujit;
6. Degradimi i litografisë;
7. Thithja e ujit.

Bakteret dhe ndotësit e tjerë biologjikë (myku, viruset, kërpudhat, marimangat) mund të lulëzojnë në mjedise me lagështi relative mbi 60%. Disa bashkësi bakteriale mund të rriten në lagështi relative mbi 30%. Kompania beson se lagështia duhet të kontrollohet në rangun prej 40% deri në 60%, gjë që mund të minimizojë ndikimin e baktereve dhe infeksioneve të frymëmarrjes.

Lagështia relative në rangun prej 40% deri në 60% është gjithashtu një diapazon i moderuar për rehatinë njerëzore. Lagështia e tepërt mund t'i bëjë njerëzit të ndihen të bllokuar, ndërsa lagështia nën 30% mund t'i bëjë njerëzit të ndiejnë lëkurë të thatë dhe të çarë, shqetësime në frymëmarrje dhe pakënaqësi emocionale.

Lagështia e lartë në fakt zvogëlon akumulimin e ngarkesave elektrostatike në sipërfaqen e dhomës së pastër - një rezultat i dëshiruar. Lagështia e ulët është ideale për akumulimin e ngarkesave dhe një burim potencialisht i dëmshëm i shkarkimit elektrostatik. Kur lagështia relative tejkalon 50%, ngarkesat elektrostatike fillojnë të shpërndahen me shpejtësi, por kur lagështia relative është më pak se 30%, ato mund të vazhdojnë për një kohë të gjatë në një izolator ose në një sipërfaqe të patokëzuar.

Lagështia relative midis 35% dhe 40% mund të përdoret si një kompromis i kënaqshëm, dhe dhomat e pastra me gjysmëpërçues në përgjithësi përdorin kontrolle shtesë për të kufizuar akumulimin e ngarkesave elektrostatike.

Shpejtësia e shumë reaksioneve kimike, duke përfshirë proceset e korrozionit, do të rritet me rritjen e lagështisë relative. Të gjitha sipërfaqet e ekspozuara ndaj ajrit përreth dhomës së pastër janë të shpejta.