Vlera e synuar e lagështisë relative në një dhomë të pastër gjysmëpërçuese (FAB).

Vlera e synuar e lagështisë relative në një dhomë të pastër gjysmëpërçuese (FAB) është afërsisht 30 deri në 50%, duke lejuar një kufi të ngushtë gabimi prej ±1%, si në zonën e litografisë - ose edhe më pak në përpunimin e largët ultravjollcë (DUV) zona – ndërsa diku tjetër mund të relaksohet në ±5%.
Për shkak se lagështia relative ka një sërë faktorësh që mund të zvogëlojnë performancën e përgjithshme të dhomave të pastra, duke përfshirë:
1. Rritja e baktereve;
2. Gama e komfortit të temperaturës së dhomës për stafin;
3. Shfaqet ngarkesa elektrostatike;
4. Korrozioni i metaleve;
5. Kondensimi i avullit të ujit;
6. Degradimi i litografisë;
7. Thithja e ujit.

Bakteret dhe ndotësit e tjerë biologjikë (myk, viruse, kërpudha, marimangat) mund të lulëzojnë në mjedise me lagështi relative prej më shumë se 60%.Disa bashkësi bakteriale mund të rriten në lagështi relative prej më shumë se 30%.Kompania beson se lagështia duhet të kontrollohet në intervalin nga 40% deri në 60%, gjë që mund të minimizojë ndikimin e baktereve dhe infeksioneve të frymëmarrjes.

Lagështia relative në rangun prej 40% deri në 60% është gjithashtu një diapazon mesatar për komoditetin e njeriut.Lagështia e tepërt mund t'i bëjë njerëzit të ndihen të mbytur, ndërsa lagështia nën 30% mund t'i bëjë njerëzit të ndiejnë lëkurë të thatë, të plasaritur, parehati në frymëmarrje dhe pakënaqësi emocionale.

Lagështia e lartë në fakt redukton akumulimin e ngarkesave elektrostatike në sipërfaqen e dhomës së pastër - një rezultat i dëshiruar.Lagështia e ulët është ideale për akumulimin e ngarkesës dhe një burim potencialisht i dëmshëm i shkarkimit elektrostatik.Kur lagështia relative tejkalon 50%, ngarkesat elektrostatike fillojnë të shpërndahen me shpejtësi, por kur lagështia relative është më pak se 30%, ato mund të qëndrojnë për një kohë të gjatë në një izolant ose në një sipërfaqe të pa tokëzuar.

Lagështia relative midis 35% dhe 40% mund të përdoret si një kompromis i kënaqshëm dhe dhomat e pastra gjysmëpërçuese zakonisht përdorin kontrolle shtesë për të kufizuar akumulimin e ngarkesave elektrostatike.

Shpejtësia e shumë reaksioneve kimike, duke përfshirë proceset e korrozionit, do të rritet me rritjen e lagështisë relative.Të gjitha sipërfaqet e ekspozuara ndaj ajrit rreth dhomës së pastër janë të shpejta.